先端半導体の製造装置を発売

キヤノン、宇都宮で生産

  •  キヤノンが発売した露光装置

 キヤノンは13日、高性能な先端半導体を低コストで製造できる露光装置を発売したと発表した。半導体の基板に微細な回路パターンを形成する際に、従来と異なる「ナノインプリント」という技術を使い、消費電力を抑...

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